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| 書誌情報 | ファイル |
|---|---|
| Film precursor formation in metalorganic chemical vapor deposition of barium strontium titanate films: A study by microdischarge optical emission spectroscopy Momose, S; Nakamura, T; Tachibana, K (2002) JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 41(2A): 778-783 |