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書誌情報ファイル
Metal-free and gasless space charge compensation of low energy ion beam by using surface-carbonized silicon field emitter array
  Takeuchi, Mitsuaki; Gotoh, Yasuhito; Tsuji, Hiroshi; Ishikawa, Junzo; Sakai, Shigeki (2010)
  JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 28(2): C2D5-C2D10

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