Study of crater formation and sputtering process with large gas cluster impact by molecular dynamics simulations

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http://hdl.handle.net/2433/108960

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タイトル:	Study of crater formation and sputtering process with large gas cluster impact by molecular dynamics simulations
著者:	Aoki, Takaaki https://orcid.org/0000-0002-5926-4903 (unconfirmed) Seki, Toshio https://orcid.org/0000-0002-0834-1657 (unconfirmed) Ninomiya, Satoshi Ichiki, Kazuya Matsuo, Jiro https://orcid.org/0000-0003-0684-3677 (unconfirmed)
キーワード:	Cluster impact Molecular dynamics simulation Damage formation Sputtering
発行日:	2009
出版者:	ELSEVIER SCIENCE BV
誌名:	NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
巻:	267
号:	8-9
開始ページ:	1424
終了ページ:	1427
URI:	http://hdl.handle.net/2433/108960
DOI(出版社版):	10.1016/j.nimb.2009.01.162
リンク:	Web of Science
出現コレクション:	英文論文データベース

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