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| タイトル: | Design and Fabrication of a Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer Using Vertical Comb Electrodes |
| 著者: | Tsuchiya, Toshiyuki    https://orcid.org/0000-0002-7846-5831 (unconfirmed)Hamaguchi, Hiroyuki Sugano, Koji Tabata, Osamu |
| キーワード: | three-axis accelerometer capacitive vertical comb electrode SOI single crystal silicon |
| 発行日: | 2009 |
| 出版者: | JOHN WILEY & SONS INC |
| 誌名: | IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING |
| 巻: | 4 |
| 号: | 3 |
| 開始ページ: | 345 |
| 終了ページ: | 351 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/109262 |
| DOI(出版社版): | 10.1002/tee.20416 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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