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| タイトル: | Micro-hole processing of polyimide film by ultra-short laser pulses and its applications |
| 著者: | Ohnishi, Masatoshi Shikata, Hirokazu Sakakura, Masaaki  Shimotsuma, Yasuhiko   https://orcid.org/0000-0003-0588-3167 (unconfirmed)Miura, Kiyotaka https://orcid.org/0000-0001-6199-7113 (unconfirmed)Hirao, Kazuyuki |
| 発行日: | 2010 |
| 出版者: | SPRINGER |
| 誌名: | APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING |
| 巻: | 98 |
| 号: | 1 |
| 開始ページ: | 123 |
| 終了ページ: | 127 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/109576 |
| DOI(出版社版): | 10.1007/s00339-009-5450-5 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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