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タイトル: | Reduction of Deep Levels and Improvement of Carrier Lifetime in n-Type 4H-SiC by Thermal Oxidation |
著者: | Hiyoshi, Toru Kimoto, Tsunenobu ![]() ![]() ![]() |
発行日: | 2009 |
出版者: | JAPAN SOCIETY APPLIED PHYSICS |
誌名: | APPLIED PHYSICS EXPRESS |
巻: | 2 |
号: | 4 |
論文番号: | 041101 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/109609 |
DOI(出版社版): | 10.1143/APEX.2.041101 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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