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タイトル: Optical properties of InGaN/GaN nanopillars fabricated by postgrowth chemically assisted ion beam etching
著者: Kawakami, Y.
Kaneta, A.
Su, L.
Zhu, Y.
Okamoto, K.
Funato, M.
Kikuchi, A.
Kishino, K.
キーワード: etching
gallium compounds
III-V semiconductors
indium compounds
ion beam effects
nanofabrication
nanopatterning
nanostructured materials
optical microscopy
photoluminescence
semiconductor quantum wells
stress relaxation
wide band gap semiconductors
発行日: 2010
出版者: AMER INST PHYSICS
誌名: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
巻: 107
号: 2
論文番号: 023522/1-7
URI: http://hdl.handle.net/2433/146392
DOI(出版社版): 10.1063/1.3280032
リンク: Web of Science
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