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タイトル: | Interaction between ethanol cluster ion beam and silicon surface |
著者: | Ryuto, Hiromichi ![]() Ozaki, Ryosuke Mukai, Hiroshi Takaoka, Gikan H. |
キーワード: | Cluster ion beam Sputtering Ethanol Radiation damage |
発行日: | 2010 |
出版者: | PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD |
誌名: | VACUUM |
巻: | 84 |
号: | 12 |
開始ページ: | 1419 |
終了ページ: | 1422 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/146592 |
DOI(出版社版): | 10.1016/j.vacuum.2009.12.018 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |
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