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| タイトル: | Development of Amplitude-Controlled Parallel-Fatigue-Test System for Micro-Electromechanical Resonators |
| 著者: | Ikehara, Tsuyoshi Tsuchiya, Toshiyuki    https://orcid.org/0000-0002-7846-5831 (unconfirmed) |
| キーワード: | fatigue test silicon MEMS resonator amplitude control parallel test |
| 発行日: | 2010 |
| 出版者: | MYU |
| 誌名: | SENSORS AND MATERIALS |
| 巻: | 22 |
| 号: | 1 |
| 開始ページ: | 39 |
| 終了ページ: | 50 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/146628 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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