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| タイトル: | Molecular dynamics simulations for gas cluster ion beam processes |
| 著者: | Aoki, Takaaki Seki, Toshio    https://orcid.org/0000-0002-0834-1657 (unconfirmed)Matsuo, Jiro https://orcid.org/0000-0003-0684-3677 (unconfirmed) |
| キーワード: | Cluster ion beam Molecular dynamics simulation Crater formation Surface modification |
| 発行日: | 2010 |
| 出版者: | PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD |
| 誌名: | VACUUM |
| 巻: | 84 |
| 号: | 8 |
| 開始ページ: | 994 |
| 終了ページ: | 998 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/146707 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.vacuum.2009.11.018 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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