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| タイトル: | Effects of Pore Sealing on Self-Formation of Ti-Rich Barrier Layers in Cu(Ti)/Porous-Low-k Samples |
| 著者: | Kohama, Kazuyuki Ito, Kazuhiro Sonobayashi, Yutaka Tanaka, Tomohisa Mori, Kenichi Maekawa, Kazuyoshi Shirai, Yasuharu  Murakami, Masanori |
| 発行日: | 2010 |
| 出版者: | JAPAN SOC APPLIED PHYSICS |
| 誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
| 巻: | 49 |
| 号: | 4 |
| 論文番号: | 04DB09 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/146782 |
| DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.49.04DB09 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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