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タイトル: Strain-Controlled AlN Growth on SiC Substrates
その他のタイトル: SiC基板上への歪み制御AlN層の成長
著者: Kaneko, Mitsuaki
著者名の別形: 金子, 光顕
キーワード: Aluminum Nitride
Silicon Carbide
Crystal Growth
Strain
Wide Bandgap Semiconductor
発行日: 23-Sep-2016
出版者: 京都大学 (Kyoto University)
学位授与大学: 京都大学
学位の種類: 新制・課程博士
取得分野: 博士(工学)
報告番号: 甲第19997号
学位記番号: 工博第4241号
学位授与年月日: 2016-09-23
請求記号: 新制||工||1656(附属図書館)
整理番号: 33093
研究科・専攻: 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
論文調査委員: (主査)教授 木本 恒暢, 教授 藤田 静雄, 准教授 船戸 充
学位授与の要件: 学位規則第4条第1項該当
著作権等: 学位規則第9条第2項により要約公開
許諾条件により要約は2017-09-20に公開 (2017-09-19修正)
DOI: 10.14989/doctor.k19997
URI: http://hdl.handle.net/2433/217172
出現コレクション:090 博士(工学)

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