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タイトル: Stability of deep centers in 4H-SiC epitaxial layers during thermal annealing
著者: Negoro, Y
Kimoto, T  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)
Matsunami, H
発行日: 6-Sep-2004
出版者: American Institute of Physics
引用: Y. Negoro et al., Appl. Phys. Lett. 85, 1716-1718 (2004)
誌名: Applied Physics Letters
巻: 85
号: 10
開始ページ: 1716
終了ページ: 1718
著作権等: Copyright 2004 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics.
URI: http://hdl.handle.net/2433/24195
DOI(出版社版): 10.1063/1.1790032
リンク: Web of Science
関連リンク: http://link.aip.org/link/?apl/85/1716
出現コレクション:学術雑誌掲載論文等

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