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タイトル: High-energy (MeV) Al and B ion implantations into 4H-SiC and fabrication of pin diodes
著者: Kimoto, Tsunenobu  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)
Miyamoto, Nao
Schoner, Adolf
Saitoh, Akira
Matsunami, Hiroyuki
Asano, Katsunori
Sugawara, Yoshitaka
発行日: 1-Apr-2002
出版者: American Institute of Physics
引用: T. Kimoto et al., J. Appl. Phys. 91, 4242-4248 (2002)
誌名: Journal of Applied Physics
巻: 91
号: 7
開始ページ: 4242
終了ページ: 4248
著作権等: Copyright 2002 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics.
URI: http://hdl.handle.net/2433/24202
DOI(出版社版): 10.1063/1.1459096
リンク: Web of Science
関連リンク: http://link.aip.org/link/?jap/91/4242
出現コレクション:学術雑誌掲載論文等

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