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JApplPhys_91_4242.pdf | 445.42 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
タイトル: | High-energy (MeV) Al and B ion implantations into 4H-SiC and fabrication of pin diodes |
著者: | Kimoto, Tsunenobu ![]() ![]() ![]() Miyamoto, Nao Schoner, Adolf Saitoh, Akira Matsunami, Hiroyuki Asano, Katsunori Sugawara, Yoshitaka |
発行日: | 1-Apr-2002 |
出版者: | American Institute of Physics |
引用: | T. Kimoto et al., J. Appl. Phys. 91, 4242-4248 (2002) |
誌名: | Journal of Applied Physics |
巻: | 91 |
号: | 7 |
開始ページ: | 4242 |
終了ページ: | 4248 |
著作権等: | Copyright 2002 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics. |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/24202 |
DOI(出版社版): | 10.1063/1.1459096 |
リンク: | Web of Science |
関連リンク: | http://link.aip.org/link/?jap/91/4242 |
出現コレクション: | 学術雑誌掲載論文等 |

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