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タイトル: High-purity and high-quality 4H-SiC grown at high speed by chimney-type vertical hot-wall chemical vapor deposition
著者: Fujihira, K
Kimoto, T  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)
Matsunami, H
発行日: 4-Mar-2002
出版者: American Institute of Physics
引用: K. Fujihira et al., Appl. Phys. Lett. 80, 1586 (2002)
誌名: Applied Physics Letters
巻: 80
号: 9
開始ページ: 1586
終了ページ: 1588
著作権等: Copyright 2002 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics.
URI: http://hdl.handle.net/2433/24203
DOI(出版社版): 10.1063/1.1456968
リンク: Web of Science
関連リンク: http://link.aip.org/link/?apl/80/1586
出現コレクション:学術雑誌掲載論文等

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