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Title: Gray-box modeling and model-based control of Czochralski process producing 300 mm diameter Silicon ingots
Other Titles: 直径300mmのシリコンインゴットを製造するチョクラルスキープロセスのグレーボックスモデリング及びグレーボックスモデルに基づく予測制御
Authors: Kato, Shota
Author's alias: 加藤, 祥太
Keywords: Czochralski process
Gray-box model
Model predictive control (MPC)
Successive linearization
Moving horizon estimation
Semiconducting silicon
Issue Date: 23-Mar-2022
Publisher: Kyoto University
Conferring University: 京都大学
Degree Level: 新制・課程博士
Degree Discipline: 博士(情報学)
Degree Report no.: 甲第24040号
Degree no.: 情博第796号
metadata.dc.date.granted: 2022-03-23
Degree Call no.: 新制||情||135(附属図書館)
Degree Affiliation: 京都大学大学院情報学研究科システム科学専攻
Examination Committee members: (主査)教授 加納 学, 教授 大塚 敏之, 教授 下平 英寿
Provisions of the Ruling of Degree: 学位規則第4条第1項該当
Rights: 許諾条件により本文は2023-01-16に公開
DOI: 10.14989/doctor.k24040
URI: http://hdl.handle.net/2433/275362
Appears in Collections:140 Doctoral Dissertation (Informatics)

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