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File | Description | Size | Format | |
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djohk00796.pdf | Dissertation_全文 | 2.83 MB | Adobe PDF | View/Open |
yjohk00796.pdf | Abstract_要旨 | 187.17 kB | Adobe PDF | View/Open |
Title: | Gray-box modeling and model-based control of Czochralski process producing 300 mm diameter Silicon ingots |
Other Titles: | 直径300mmのシリコンインゴットを製造するチョクラルスキープロセスのグレーボックスモデリング及びグレーボックスモデルに基づく予測制御 |
Authors: | Kato, Shota |
Author's alias: | 加藤, 祥太 |
Keywords: | Czochralski process Gray-box model Model predictive control (MPC) Successive linearization Moving horizon estimation Semiconducting silicon |
Issue Date: | 23-Mar-2022 |
Publisher: | Kyoto University |
Conferring University: | 京都大学 |
Degree Level: | 新制・課程博士 |
Degree Discipline: | 博士(情報学) |
Degree Report no.: | 甲第24040号 |
Degree no.: | 情博第796号 |
metadata.dc.date.granted: | 2022-03-23 |
Degree Call no.: | 新制||情||135(附属図書館) |
Degree Affiliation: | 京都大学大学院情報学研究科システム科学専攻 |
Examination Committee members: | (主査)教授 加納 学, 教授 大塚 敏之, 教授 下平 英寿 |
Provisions of the Ruling of Degree: | 学位規則第4条第1項該当 |
Rights: | 許諾条件により本文は2023-01-16に公開 |
DOI: | 10.14989/doctor.k24040 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/275362 |
Appears in Collections: | 140 Doctoral Dissertation (Informatics) |

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