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| タイトル: | Specular surface morphology of 4H-SiC epilayers grown on (1120) face |
| 著者: | Chen, ZY Kimoto, T    https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)Matsunami, H |
| キーワード: | silicon carbide (SiC) chemical vapor deposition surface morphology atomic force microscopy stacking fault |
| 発行日: | 1999 |
| 出版者: | JAPAN J APPLIED PHYSICS |
| 誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS |
| 巻: | 38 |
| 号: | 12A |
| 開始ページ: | L1375 |
| 終了ページ: | L1378 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/3299 |
| DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.38.L1375 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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