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タイトル: | Low-concentration deep traps in 4H-SiC grown with high growth rate by chemical vapor deposition |
著者: | Danno, K Hashimoto, K Saitoh, H Kimoto, T https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed) Matsunami, H |
キーワード: | SiC epitaxial growth high purity deep level carrier lifetime |
発行日: | 2004 |
出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS |
巻: | 43 |
号: | 7B |
開始ページ: | L969 |
終了ページ: | L971 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/3337 |
DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.43.L969 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |
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