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| タイトル: | Sidewall polishing with a gas cluster ion beam for photonic device applications |
| 著者: | Bourelle, E Suzuki, A Sato, A Seki, T    https://orcid.org/0000-0002-0834-1657 (unconfirmed)Matsuo, J https://orcid.org/0000-0003-0684-3677 (unconfirmed) |
| キーワード: | gas cluster ion beam smoothing polishing photonic devices |
| 発行日: | 2005 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
| 誌名: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
| 巻: | 241 |
| 号: | 1-4 |
| 開始ページ: | 622 |
| 終了ページ: | 625 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/34834 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.nimb.2005.07.087 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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