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タイトル: | Si emission from the SiO2/Si interface during the growth of SiO2 in the HfO2/SiO2/Si structure |
著者: | Ming, Z Nakajima, K ![]() ![]() ![]() Suzuki, M ![]() ![]() ![]() Kimura, K ![]() Uematsu, M Torii, K Kamiyama, S Nara, Y Yamada, K |
発行日: | 2006 |
出版者: | AMER INST PHYSICS |
誌名: | APPLIED PHYSICS LETTERS |
巻: | 88 |
号: | 15 |
論文番号: | 153516 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/35113 |
DOI(出版社版): | 10.1063/1.2195101 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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