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| タイトル: | Negative-ion implantation into thin SiO2 layer for defined nanoparticle formation |
| 著者: | Tsuji, H  Arai, N Gotoh, N Minotani, T Ishibashi, T Okumine, T Adachi, K Kotaki, H Gotoh, Y  Ishikawa, J |
| 発行日: | 2006 |
| 出版者: | AMER INST PHYSICS |
| 誌名: | REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS |
| 巻: | 77 |
| 号: | 3 |
| 論文番号: | 30A510 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/35200 |
| DOI(出版社版): | 10.1063/1.2163287 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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