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タイトル: | Neutron-enhanced annealing of radiation damage formed by self-ion implantation in silicon |
著者: | Kinomura, A ![]() ![]() ![]() Chayahara, A Mokuno, Y Tsubouchi, N Horino, Y Yoshiie, T Hayashi, Y Xu, Q ![]() ![]() Ito, Y Ishigami, R Yasuda, K |
発行日: | 2006 |
出版者: | AMER INST PHYSICS |
誌名: | APPLIED PHYSICS LETTERS |
巻: | 88 |
号: | 24 |
論文番号: | 241921 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/35318 |
DOI(出版社版): | 10.1063/1.2211927 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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