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| タイトル: | Work function measurement of transition metal nitride and carbide thin films |
| 著者: | Fujii, R Gotoh, Y   Liao, MY Tsuji, H Ishikawa, J |
| キーワード: | compound-target-sputtering transition metal nitride transition metal carbide work function electronegativity cold cathode |
| 発行日: | 2006 |
| 出版者: | PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD |
| 誌名: | VACUUM |
| 巻: | 80 |
| 号: | 7 |
| 開始ページ: | 832 |
| 終了ページ: | 835 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/35355 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.vacuum.2005.11.030 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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