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| タイトル: | Two-dimensional carrier profiling on operating Si metal-oxide semiconductor field-effect transistor by scanning capacitance microscopy |
| 著者: | Kimura, K Kobayashi, K    https://orcid.org/0000-0002-1409-6539 (unconfirmed)Yamada, H Matsushige, K Usuda, K |
| 発行日: | 2006 |
| 出版者: | A V S AMER INST PHYSICS |
| 誌名: | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
| 巻: | 24 |
| 号: | 3 |
| 開始ページ: | 1371 |
| 終了ページ: | 1376 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/35391 |
| DOI(出版社版): | 10.1116/1.2198859 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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