Observation of Si emission during thermal oxidation of Si(001) with high-resolution RBS

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http://hdl.handle.net/2433/35486

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タイトル:	Observation of Si emission during thermal oxidation of Si(001) with high-resolution RBS
著者:	Hosoi, S Nakajima, K https://orcid.org/0000-0002-5390-1262 (unconfirmed) Suzuki, M https://orcid.org/0000-0002-6473-9141 (unconfirmed) Kimura, K Shimizu, Y Fukatsu, S Itoh, KM Uematsu, M Kageshima, H Shiraishi, K
キーワード:	Si emission HRBS thermal oxidation Si isotope diffusion SiO2
発行日:	2006
出版者:	ELSEVIER SCIENCE BV
誌名:	NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
巻:	249
開始ページ:	390
終了ページ:	393
URI:	http://hdl.handle.net/2433/35486
DOI(出版社版):	10.1016/j.nimb.2006.04.036
リンク:	Web of Science
出現コレクション:	英文論文データベース

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