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| タイトル: | Measurement of the strain in strained-Si/Si0.79Ge0.21 with HRBS/channeling |
| 著者: | Matsushita, T Sakai, W Nakajima, K    https://orcid.org/0000-0002-5390-1262 (unconfirmed)Suzuki, M https://orcid.org/0000-0002-6473-9141 (unconfirmed)Kimura, K Agarwal, A Gossmann, HJ Ameen, M Harima, H |
| キーワード: | strained-Si steering effect statistical equilibrium HRBS |
| 発行日: | 2006 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
| 誌名: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
| 巻: | 249 |
| 開始ページ: | 432 |
| 終了ページ: | 435 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/35488 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.nimb.2006.03.024 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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