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タイトル: Secondary ion measurements for oxygen cluster ion SIMS
著者: Ninomiya, S
Aoki, T  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0002-5926-4903 (unconfirmed)
Seki, T  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0002-0834-1657 (unconfirmed)
Matsuo, J  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0003-0684-3677 (unconfirmed)
キーワード: oxygen cluster ion
secondary ion mass spectrometry
low energy
sputtering yield
発行日: 2006
出版者: ELSEVIER SCIENCE BV
誌名: APPLIED SURFACE SCIENCE
巻: 252
号: 19
開始ページ: 7290
終了ページ: 7292
URI: http://hdl.handle.net/2433/35612
DOI(出版社版): 10.1016/j.apsusc.2006.02.138
リンク: Web of Science
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