このアイテムのアクセス数: 0
このアイテムのファイル:
このアイテムに関連するファイルはありません。
| タイトル: | Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring |
| 著者: | Hirai, Y    https://orcid.org/0000-0003-0835-7314 (unconfirmed)Inamoto, Y Sugano, K Tsuchiya, T https://orcid.org/0000-0002-7846-5831 (unconfirmed)Tabata, O |
| 発行日: | 2007 |
| 出版者: | IOP PUBLISHING LTD |
| 誌名: | JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING |
| 巻: | 17 |
| 号: | 2 |
| 開始ページ: | 199 |
| 終了ページ: | 206 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/36029 |
| DOI(出版社版): | 10.1088/0960-1317/17/2/003 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
このリポジトリに保管されているアイテムはすべて著作権により保護されています。