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| タイトル: | Molecular ion implanter equipped with liquid-metal alloy ion source |
| 著者: | Gotoh, Y   Tsuji, H Ishikawa, J |
| 発行日: | 2000 |
| 出版者: | AMER INST PHYSICS |
| 誌名: | REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS |
| 巻: | 71 |
| 号: | 2 |
| 開始ページ: | 780 |
| 終了ページ: | 782 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/3687 |
| DOI(出版社版): | 10.1063/1.1150292 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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