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タイトル: | Vanadium ion implanted guard rings for high-voltage 4H-SiC Schottky rectifiers |
著者: | Hatayama, T Yoneda, T Nakata, T Watanabe, M Kimoto, T https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed) Matsunami, H |
キーワード: | SiC Schottky rectifier edge termination guard ring vanadium ion implantation |
発行日: | 2000 |
出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS |
巻: | 39 |
号: | 12A |
開始ページ: | L1216 |
終了ページ: | L1218 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/3818 |
DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.39.L1216 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |
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