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タイトル: Vanadium ion implanted guard rings for high-voltage 4H-SiC Schottky rectifiers
著者: Hatayama, T
Yoneda, T
Nakata, T
Watanabe, M
Kimoto, T  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)
Matsunami, H
キーワード: SiC
Schottky rectifier
edge termination
guard ring
vanadium
ion implantation
発行日: 2000
出版者: INST PURE APPLIED PHYSICS
誌名: JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
巻: 39
号: 12A
開始ページ: L1216
終了ページ: L1218
URI: http://hdl.handle.net/2433/3818
DOI(出版社版): 10.1143/JJAP.39.L1216
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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