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タイトル: | Direct measurement of interface strength between copper submicron-dot and silicon dioxide substrate |
著者: | Hirakata, H ![]() Kitamura, T ![]() Yamamoto, Y |
キーワード: | delamination material testing micromechanics submicron dot atomic force Microscopy interface strength micro material |
発行日: | 2004 |
出版者: | JAPAN SOC MECHANICAL ENGINEERS |
誌名: | JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES A-SOLID MECHANICS AND MATERIAL ENGINEERING |
巻: | 47 |
号: | 3 |
開始ページ: | 324 |
終了ページ: | 330 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/3888 |
DOI(出版社版): | 10.1299/jsmea.47.324 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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