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タイトル: Direct measurement of interface strength between copper submicron-dot and silicon dioxide substrate
著者: Hirakata, H  KAKEN_id
Kitamura, T  KAKEN_id
Yamamoto, Y
キーワード: delamination
material testing
micromechanics
submicron dot
atomic force Microscopy
interface strength
micro material
発行日: 2004
出版者: JAPAN SOC MECHANICAL ENGINEERS
誌名: JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES A-SOLID MECHANICS AND MATERIAL ENGINEERING
巻: 47
号: 3
開始ページ: 324
終了ページ: 330
URI: http://hdl.handle.net/2433/3888
DOI(出版社版): 10.1299/jsmea.47.324
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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