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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| ApplPhysLett_83_4306.pdf | 357.99 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | Coordination and interface analysis of atomic-layer-deposition Al2O3 on Si(001) using energy-loss near-edge structures |
| 著者: | Kimoto, K Matsui, Y Nabatame, T Yasuda, T Mizoguchi, T Tanaka, I    https://orcid.org/0000-0002-4616-118X (unconfirmed)Toriumi, A |
| 発行日: | 24-Nov-2003 |
| 出版者: | AMER INST PHYSICS |
| 誌名: | APPLIED PHYSICS LETTERS |
| 巻: | 83 |
| 号: | 21 |
| 開始ページ: | 4306 |
| 終了ページ: | 4308 |
| 著作権等: | Copyright 2003 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics. |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/39661 |
| DOI(出版社版): | 10.1063/1.1629397 |
| 関連リンク: | http://link.aip.org/link/?apl/83/4306 |
| 出現コレクション: | 学術雑誌掲載論文等 |
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