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タイトル: Fabrication of SiC lateral super junction diodes with multiple stacking p- and n-layers
著者: Miura, M
Nakamura, S
Suda, J  KAKEN_id
Kimoto, T  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)
Matsunami, H
発行日: May-2003
出版者: IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
誌名: IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS
巻: 24
号: 5
開始ページ: 321
終了ページ: 323
著作権等: (c)2003 IEEE. Personal use of this material is permitted. However, permission to reprint/republish this material for advertising or promotional purposes or for creating new collective works for resale or redistribution to servers or lists, or to reuse any copyrighted component of this work in other works must be obtained from the IEEE.
URI: http://hdl.handle.net/2433/39934
DOI(出版社版): 10.1109/LED.2003.812561
出現コレクション:学術雑誌掲載論文等

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