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| タイトル: | Defect structures in TaSi2 thin films produced by co-sputtering |
| 著者: | Inui, H    https://orcid.org/0000-0003-0835-6725 (unconfirmed)Fujii, A Hashimoto, T Tanaka, K Yamaguchi, M Ishizuka, K |
| キーワード: | sputtering transmission electron microscopy thin film crystal structure phase transformation |
| 発行日: | 2003 |
| 出版者: | PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD |
| 誌名: | ACTA MATERIALIA |
| 巻: | 51 |
| 号: | 8 |
| 開始ページ: | 2285 |
| 終了ページ: | 2296 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/4222 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/S1359-6454(03)00034-X |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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