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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| JVacSciTechnolB_17_840.pdf | 121.5 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | Titanium nitride prepared by plasma-based titanium-ion implantation |
| 著者: | Yukimura, K Sano, M Maruyama, T Kurooka, S Suzuki, Y Chayahara, A Kinomura, A   Horino, Y |
| 発行日: | 1999 |
| 出版者: | AMER INST PHYSICS |
| 誌名: | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
| 巻: | 17 |
| 号: | 2 |
| 開始ページ: | 840 |
| 終了ページ: | 844 |
| 著作権等: | Copyright 1999 American Vacuum Society |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/43542 |
| DOI(出版社版): | 10.1116/1.590648 |
| 出現コレクション: | 学術雑誌掲載論文等 |
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