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| タイトル: | High-energy (MeV) Al and B ion implantations into 4H-SiC and fabrication of pin diodes |
| 著者: | Kimoto, T    https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)Miyamoto, N Schoner, A Saitoh, A Matsunami, H Asano, K Sugawara, Y |
| 発行日: | 2002 |
| 出版者: | AMER INST PHYSICS |
| 誌名: | JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
| 巻: | 91 |
| 号: | 7 |
| 開始ページ: | 4242 |
| 終了ページ: | 4248 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/4865 |
| DOI(出版社版): | 10.1063/1.1459096 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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