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| タイトル: | High-resolution RBS: a powerful tool for atomic level characterization |
| 著者: | Kimura, K  Joumori, S Oota, Y Nakajima, K   https://orcid.org/0000-0002-5390-1262 (unconfirmed)Suzuki, M https://orcid.org/0000-0002-6473-9141 (unconfirmed) |
| キーワード: | high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy molecular effect ultra-shallow dopant depth profiling nitrogen profiling SIMS strain profiling |
| 発行日: | 2004 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
| 誌名: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
| 巻: | 219-20 |
| 開始ページ: | 351 |
| 終了ページ: | 357 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/4874 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.nimb.2004.01.081 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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