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| タイトル: | Two-dimensional dopant profiling by scanning capacitance force microscopy |
| 著者: | Kimura, K Kobayashi, K    https://orcid.org/0000-0002-1409-6539 (unconfirmed)Yamada, H Matsushige, K |
| キーワード: | scanning capacitance force microscopy frequency modulation angular frequency lock-in amplifier |
| 発行日: | 2003 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
| 誌名: | APPLIED SURFACE SCIENCE |
| 巻: | 210 |
| 号: | 1-2 |
| 開始ページ: | 93 |
| 終了ページ: | 98 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/4879 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/S0169-4332(02)01486-1 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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