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タイトル: | Scanning capacitance force microscopy imaging of metal-oxide-semiconductor field effect transistors |
著者: | Kimura, K Kobayashi, K ![]() ![]() ![]() Yamada, H ![]() Matsushige, K Usuda, K |
発行日: | 2005 |
出版者: | A V S AMER INST PHYSICS |
誌名: | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
巻: | 23 |
号: | 4 |
開始ページ: | 1454 |
終了ページ: | 1458 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/4880 |
DOI(出版社版): | 10.1116/1.1941188 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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