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タイトル: Scanning capacitance force microscopy imaging of metal-oxide-semiconductor field effect transistors
著者: Kimura, K
Kobayashi, K  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0002-1409-6539 (unconfirmed)
Yamada, H  KAKEN_id
Matsushige, K
Usuda, K
発行日: 2005
出版者: A V S AMER INST PHYSICS
誌名: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
巻: 23
号: 4
開始ページ: 1454
終了ページ: 1458
URI: http://hdl.handle.net/2433/4880
DOI(出版社版): 10.1116/1.1941188
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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