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タイトル: | Compositional transition layer in SiO2/Si interface observed by high-resolution RBS |
著者: | Kimura, K ![]() Nakajima, K ![]() ![]() ![]() |
キーワード: | SiO2/Si transition layer high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy energy loss straggling |
発行日: | 2003 |
出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
誌名: | APPLIED SURFACE SCIENCE |
巻: | 216 |
号: | 1-4 |
開始ページ: | 283 |
終了ページ: | 286 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/4881 |
DOI(出版社版): | 10.1016/S0169-4332(03)00386-6 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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