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タイトル: | Oxidation of Si(001) observed by high-resolution RBS |
著者: | Kimura, K ![]() Nakajima, K ![]() ![]() ![]() Okazaki, Y |
発行日: | 2001 |
出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
誌名: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
巻: | 183 |
号: | 1-2 |
開始ページ: | 166 |
終了ページ: | 170 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/4884 |
DOI(出版社版): | 10.1016/S0168-583X(01)00327-5 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |
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