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タイトル: Hydrogen analysis of CVD homoepitaxial diamond films by high-resolution elastic recoil detection
著者: Kimura, K  KAKEN_id
Nakajima, K  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0002-5390-1262 (unconfirmed)
Yamanaka, S
Hasegawa, M
Okushi, H
キーワード: hydrogen
CVD diamond
high-resolution ERD
発行日: 2002
出版者: ELSEVIER SCIENCE BV
誌名: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
巻: 190
開始ページ: 689
終了ページ: 692
URI: http://hdl.handle.net/2433/4886
DOI(出版社版): 10.1016/S0168-583X(02)00450-0
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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