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| タイトル: | Formation of iron silicide on Si(001) studied by high resolution Rutherford backscattering spectroscopy |
| 著者: | Kinoshita, K Imaizumi, R Nakajima, K    https://orcid.org/0000-0002-5390-1262 (unconfirmed)Suzuki, M https://orcid.org/0000-0002-6473-9141 (unconfirmed)Kimura, K |
| キーワード: | iron silicide solid phase reaction Rutherford backscattering spectroscopy ion channeling |
| 発行日: | 2004 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE SA |
| 誌名: | THIN SOLID FILMS |
| 巻: | 461 |
| 号: | 1 |
| 開始ページ: | 131 |
| 終了ページ: | 135 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/4909 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.tsf.2004.02.086 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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