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| タイトル: | Dopant profiling on semiconducting sample by scanning capacitance force microscopy |
| 著者: | Kobayashi, K    https://orcid.org/0000-0002-1409-6539 (unconfirmed)Yamada, H Matsushige, K |
| 発行日: | 2002 |
| 出版者: | AMER INST PHYSICS |
| 誌名: | APPLIED PHYSICS LETTERS |
| 巻: | 81 |
| 号: | 14 |
| 開始ページ: | 2629 |
| 終了ページ: | 2631 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/5005 |
| DOI(出版社版): | 10.1063/1.1510582 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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