このアイテムのアクセス数: 0
このアイテムのファイル:
このアイテムに関連するファイルはありません。
| タイトル: | Crystallographic structure and composition of vanadium nitride films deposited by direct sputtering of a compound target |
| 著者: | Liao, MY Gotoh, Y   Tsuji, H Ishikawa, J |
| 発行日: | 2004 |
| 出版者: | A V S AMER INST PHYSICS |
| 誌名: | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A |
| 巻: | 22 |
| 号: | 1 |
| 開始ページ: | 146 |
| 終了ページ: | 150 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/5302 |
| DOI(出版社版): | 10.1116/1.1631473 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
このリポジトリに保管されているアイテムはすべて著作権により保護されています。