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タイトル: | Deposition of vanadium carbide thin films using compound target sputtering and their field emission |
著者: | Liao, MY Gotoh, Y ![]() ![]() Tsuji, H ![]() Ishikawa, J |
発行日: | 2005 |
出版者: | A V S AMER INST PHYSICS |
誌名: | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A |
巻: | 23 |
号: | 5 |
開始ページ: | 1379 |
終了ページ: | 1383 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/5303 |
DOI(出版社版): | 10.1116/1.2008273 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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