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タイトル: Deposition of vanadium carbide thin films using compound target sputtering and their field emission
著者: Liao, MY
Gotoh, Y  kyouindb  KAKEN_id
Tsuji, H  KAKEN_id
Ishikawa, J
発行日: 2005
出版者: A V S AMER INST PHYSICS
誌名: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A
巻: 23
号: 5
開始ページ: 1379
終了ページ: 1383
URI: http://hdl.handle.net/2433/5303
DOI(出版社版): 10.1116/1.2008273
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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