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| タイトル: | A novel fabrication process of 3D microstructures by double exposure in deep x-ray lithography ((DXRL)-X-2) |
| 著者: | Matsuzuka, N Hirai, Y    https://orcid.org/0000-0003-0835-7314 (unconfirmed)Tabata, O |
| 発行日: | 2005 |
| 出版者: | IOP PUBLISHING LTD |
| 誌名: | JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING |
| 巻: | 15 |
| 号: | 11 |
| 開始ページ: | 2056 |
| 終了ページ: | 2062 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/5604 |
| DOI(出版社版): | 10.1088/0960-1317/15/11/009 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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