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| タイトル: | A study of TaN film field electron emitter material by a Kelvin probe force microscope |
| 著者: | Miya, K Sasaki, M Yamamoto, S Gotoh, Y   Kawamura, Y Ishikawa, J |
| キーワード: | work function distribution Kelvin probe force microscope contact potential difference ion beam assisted deposition radio frequency magnetron sputtering TaN |
| 発行日: | 2004 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
| 誌名: | MICROELECTRONIC ENGINEERING |
| 巻: | 71 |
| 号: | 3-4 |
| 開始ページ: | 343 |
| 終了ページ: | 347 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/5711 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.mee.2004.02.005 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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