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| タイトル: | Film precursor formation in metalorganic chemical vapor deposition of barium strontium titanate films: A study by microdischarge optical emission spectroscopy |
| 著者: | Momose, S Nakamura, T    https://orcid.org/0000-0001-9008-5586 (unconfirmed)Tachibana, K |
| キーワード: | DRAM microdischarge optical emission spectroscopy (Ba,Sr)TiO3 liquid-source MOCVD Ti(t-BuO)(2)(DPM)(2) Sr(DPM)(2) precursor oxidation gas |
| 発行日: | 2002 |
| 出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
| 誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS |
| 巻: | 41 |
| 号: | 2A |
| 開始ページ: | 778 |
| 終了ページ: | 783 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/5804 |
| DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.41.778 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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