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| タイトル: | Modeling of surface smoothing process by cluster ion beam irradiation |
| 著者: | Nakai, A Aoki, T   https://orcid.org/0000-0002-5926-4903 (unconfirmed)Seki, T  https://orcid.org/0000-0002-0834-1657 (unconfirmed)Matsuo, J https://orcid.org/0000-0003-0684-3677 (unconfirmed)Takaoka, GH Yamada, I |
| キーワード: | cluster surface smoothing ion beam processing |
| 発行日: | 2003 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
| 誌名: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
| 巻: | 206 |
| 開始ページ: | 842 |
| 終了ページ: | 845 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/6110 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/S0168-583X(03)00875-9 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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